1，美國ASTM標準:ASTMB117-15a標準規定了半導體工業用超純水拋光管的要求和試驗方法。其中，管道內壁拋光度應在0.2微米以下，顆粒物濃度應小於10 6個/mL，微生物數量應小於1CFU/mL。
2.歐洲ISO標準:ISO11140規定了半導體工業用超純水拋光管的要求和試驗方法。其中，管道內壁拋光度應在0.4微米以下，顆粒物濃度應小於10 4個/mL，微生物數量應小於1CFU/mL。