電火花加工時，將工具電極和工件分別接在脈沖電源的兩極，浸入工作液中，或者將工作液充入放電間隙中。間隙自動控制系統控制工具電極進給工件。當兩個電極之間的間隙達到壹定距離時，施加在兩個電極上的脈沖電壓將擊穿工作流體並產生火花放電。
大量的熱能瞬間集中在放電的微通道中，溫度可高達10000℃，壓力也急劇變化，使這個工作面上的少量金屬材料立即熔化氣化，爆炸性地飛濺到工作液中，並迅速凝結形成固體金屬顆粒，被工作液帶走。此時工件表面留下了微小的坑痕，放電短時間停止，兩電極間的工作液恢復到絕緣狀態。
然後，下壹個脈沖電壓在兩個電極相對靠近的另壹點擊穿，產生火花放電，重復上述過程。這樣，雖然每次脈沖放電蝕刻的金屬量很少，但由於每秒上千次脈沖放電的作用，可以蝕刻更多的金屬，具有壹定的生產率。
在保持工具電極和工件之間的恒定放電間隙的條件下，工具電極被連續地進給到工件，同時去除工件金屬，並且最終加工與工具電極的形狀相對應的形狀。因此，只要改變工具電極的形狀和工具電極與工件之間的相對運動方式，就可以加工各種復雜的輪廓。工具電極通常由具有良好導電性、高熔點和易於加工的耐腐蝕材料制成，例如銅、石墨、銅鎢合金和鉬。在加工過程中，工具電極也有損耗，但小於工件金屬的侵蝕量，甚至接近無損耗。
工作液作為排放介質，在加工過程中還起到冷卻和排屑的作用。常用的工質是粘度低、閃點高、性能穩定的介質，如煤油、去離子水、乳化液等。電火花機床是壹種自激放電，其特點是:放電前火花放電的兩個電極之間有很高的電壓，當兩個電極靠近時，它們之間的電介質被擊穿，然後發生火花放電。隨著擊穿過程，兩電極間的電阻急劇下降，兩電極間的電壓也急劇下降。火花通道必須在短時間後(壹般為10-7-10-3s)及時熄滅，以維持火花放電的“冷電極”特性(即通道能量轉化的熱能不能過晚到達電極深度)，使通道能量作用在很小的範圍內。在通道能量的作用下，電極會發生局部腐蝕。利用火花放電產生的腐蝕現象對材料進行尺寸加工的方法稱為EDM。電火花加工是壹種在低電壓範圍內液體介質中的火花放電。根據工具電極的形式和工具電極與工件之間相對運動的特點，電火花加工方法可分為五類:通過形成工具電極相對於工件進行簡單進給運動的電火花加工；利用軸向運動的金屬絲作為工具電極，工件按照要求的形狀和尺寸沿軌跡運動，通過WEDM切割導電材料。用金屬絲或異形導電砂輪作為工具電極，進行異形磨削的小孔磨削或電火花磨削；用於加工螺紋環規、螺紋塞規、齒輪等軛架的電火花回轉加工。小孔加工、雕刻表面合金化、表面強化等各種加工。電火花加工可以加工普通切割方法難以切割的材料和復雜工件。加工時無切削力；無毛刺、刀痕、溝槽等缺陷；工具電極材料不需要比工件材料更硬；直接利用電能加工，易於實現自動化；加工後，表面產生變質層，在某些應用中必須進壹步去除；凈化工作流體和處理加工中產生的煙霧汙染是很麻煩的。